鈍化膜測厚儀在使用一段時間過后，或多或少都會出現系統誤差，而這個系統統誤差卻是可以通過校準來減少。測量儀器的校準，對于測量結果有著絕大的影響力，為此，必須要通過專業的校準工具進行校準。

　　鈍化膜測厚儀的校準方法：

　　利用標準檢驗片來對膜厚測量儀進行校正，先是把帶有一個標準數值的標準片放在零板上，測量標準片。按照平常操作儀器的方法正常使用測厚儀，觀看儀器屏幕上的數值。一般來說，發現數值是與標準片上所標數值一致，或者是誤差是在正負1微米的，儀器都是可以正常使用的。否則，就是不正常。對于不正常的儀器，則需要利用儀器的調零按鈕來進行調整。直到屏幕數據與標準片所標數據一致。

　　鈍化膜測厚儀在使用時，擺放在物件的上方，從儀器當中發射了垂直向下的可視光線。其中一部分光會在膜的表面形成一個反射，另一部分則會透過儀器的薄膜，在薄膜與物件之間的界面開成反射，這個時候，薄膜的表面，以及薄膜的底部同時反射的光會造成干涉的現象。儀器便是利用了這樣的一種現象，從而測量出物件的厚度。厚度的測量看似簡單，實測上所利用的光反射原理，卻是需要經過一系列的設計才能達到如此理想狀態。如此光學膜厚測量儀的使用，便也有著其它傳統測厚儀所沒有的優點。